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撼動晶片業!日本推出便宜EUV!?台積電不用當盤子了!?極紫外光EUV大解密!曲博科技教室
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來源:
您真內行
發佈於 2024-10-30 02:55
撼動晶片業!日本推出便宜EUV!?台積電不用當盤子了!?極紫外光EUV大解密!曲博科技教室
00:00
開場 | Introduction
01:54
如何提高光學系統的分辨能力?
05:44
艾司摩爾(ASML)的極紫外光微影(EUV)系統簡介
07:00
蔡司(Zeiss)全球獨家的反射鏡加工技術
08:39
高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)的反射鏡有什麼不同?
13:20
光源光罩最佳化(SMO)如何進行?
15:47
極紫外光(EUV)曝光機的改良方法
18:14
新型極紫外光(EUV)系統的光學模擬結果
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