撼動晶片業！日本推出便宜EUV！？台積電不用當盤子了！？極紫外光EUV大解密！曲博科技教室

人類發達集團副總裁: 來源：您真內行發佈於 2024-10-30 02:55

撼動晶片業！日本推出便宜EUV！？台積電不用當盤子了！？極紫外光EUV大解密！曲博科技教室

00:00 開場 | Introduction
01:54 如何提高光學系統的分辨能力？
05:44 艾司摩爾(ASML)的極紫外光微影(EUV)系統簡介
07:00 蔡司(Zeiss)全球獨家的反射鏡加工技術
08:39 高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV)的反射鏡有什麼不同？
13:20 光源光罩最佳化(SMO)如何進行？
15:47 極紫外光(EUV)曝光機的改良方法
18:14 新型極紫外光(EUV)系統的光學模擬結果

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