個股：台積電(2330)「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」每年可創逾4億元效益
2021/12/01 12:05 財訊快報／記者李純君報導

全球晶圓代工龍頭台積電(2330)致力推動循環經濟，將製程產生的廢棄資源再製為異業可使用的產品，更揭露，所打造的「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」，每年可創逾4億元新台幣的效益，該系統更將於後續也擴大導入其他先進製程廠區。

台積電民國110年9月成功於晶圓十五B廠啟用首座「氫氟酸廢液合成冰晶石系統」，將氫氟酸廢液合成為鋁工業所需的高純度冰晶石，截至11月已減少氫氟酸廢液委外處理量達500噸、產出冰晶石150噸，預計於民國112年擴大導入至先進製程晶圓廠區，目標每年減少委外處理量46000噸、產出冰晶石12000噸，創造逾4億元新台幣效益。

針對晶圓加工與清洗製程產生的氫氟酸廢液，台積電自民國107年起攜手協力廠商啟動氫氟酸廢液回收技術研究，透過分析廢液濃度、再製技術、藥劑製備與銷售通路等面向，評估將氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石最具廢棄資源高值化優勢。

冰晶石主要用於鋁工業做為助熔劑，可於電解煉鋁過程中節省逾25%能耗，由於全球天然冰晶石產量稀少且幾乎開採完畢，現多為人工合成品，一般製作過程需較多原料且反應溫度較高。

台積電以氫氟酸廢液做為冰晶石製程的原料，根據氫氟酸廢液的濃度需求，與廠商合作研發出可生成冰晶石的反應藥劑，再搭配適當的操作參數降低反應溫度，成功使氫氟酸廢液合成為高純度冰晶石，不僅克服因稀釋廢液所需的設備空間限制，可直接於廠內生產，在地研發的反應藥劑亦提升國內循環經濟產業的再生技術。