2024-08-19 10:13:57 記者 鄭盈芷 報導
氣動元件廠氣立(4555)將參加8月21日開展的台北國際自動化工業大展，展出超音波流量計、藥液閥、質量流量計、潔淨室用無桿氣缸(附圖)多款應用在半導體與醫療產業的新產品。

氣立表示，公司近年積極進行新產品應用與產品轉型，以半導體、醫療及PCB等相關設備產業需求為研發重點，質量流量計具備精密度0.3%，能夠測量空氣、氮氣、氫氣等多種氣體，適用於半導體、醫療設備及精密儀器檢測系統；超音波流量計採非侵入式感應原理，夾管式設計可方便快速安裝且不需修改現有管路，減少設置成本及時間，可檢測各式流體並具備有快速響應及高精度特性，廣泛應用於半導體、PCB、醫療及化工產業的各類氣體和液體管路檢測。

藥液閥則具備耐酸鹼/耐藥性及抗腐蝕等特點，且相比傳統產品，壓力範圍提升1.7倍，應用更為廣泛，半導體濕製程 (含先進封裝的研磨洗淨過程)、廠務使用管路、醫療與各式酸鹼流體使用場域皆可使用。

潔淨室用無桿氣缸為氣立之創新構造設計，可將排氣側廢氣循環使用作為動力導引至端蓋真空產生氣將粉塵做真空導引排出至潔淨室真空管路，達到不汙染潔淨室的功能；亦有防水刮塵之延長使用壽命的設計。

平行開閉門閥主要的功能為製程腔體與搬送腔體間的門閥使用，作為晶圓移載的通道門，具有價格和交貨速度的優勢。氣立將在展場設置晶圓片作業存放、閥門開閉之動態展示機，讓客戶直觀感受其性能。

柔性夾爪系列則是夾取部結構採無鋼性設計，選用耐藥性佳的柔性材料，可模擬人手指的柔軟性設計，進行包覆性夾取避免造成物件損傷，適合醫藥及食品等產業使用。

(圖片來源:氣立)