怕台積電搶走EUV 死敵傳出招攔截荷廠ASML
工商時報 數位編輯 2020.12.01
繼三星集團副會長李在鎔10月親赴極紫外光刻機（EUV）大廠艾司摩爾（ASML）荷蘭總部拜訪後；韓媒報導，艾司摩爾高層也禮尚往來，於上周訪問三星，三星希望趕在台積電之前拿到設備。圖／美聯社


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繼三星集團副會長李在鎔10月親赴極紫外光刻機（EUV）大廠艾司摩爾（ASML）荷蘭總部拜訪後；韓媒報導，艾司摩爾高層也禮尚往來，於上周訪問三星，盼促成雙方極紫外光設備的合作案，三星希望趕在台積電之前拿到設備，爭取在製程技術上領先。
Business Korea報導，艾司摩爾執行長Peter Wennink等公司高層上周參訪三星半導體廠，商討有關EUV設備供應與發展合作案。業界知情人士指出，三星希望ASML供應更多EUV光刻機台，雙方也討論下一代EUV設備的合作方案。

據了解，三星打算投資高數值孔徑（High-Na）EUV設備，但此設備一台要花費5000億韓元，價格為目前EUV機台的2到3倍。艾司摩爾預計2023年的年中先推出此款設備原型機，三星希望趕在台積電之前搶到設備，以期在製程技術上超前台積電。
報導指出，艾司摩爾為全球唯一EUV光刻機供應大廠，目前出貨給台積電的EUV數量高於三星。三星此時與艾司摩爾合作結盟，無非希望取得更多EUV設備生產，藉此吃到更多大廠訂單，進一步拉高晶圓代工市占。
（中時 吳美觀）
三星ASMLEUV台機電