2024/08/31 05:30  
彭博披露，荷蘭政府計畫限制ASML對已出售中國的深紫外光（DUV）微影設備提供維修與保養服務，中廠部分設備最快明年就無法運作。（路透）
不再維修在中DUV設備 衝擊中芯、華為
〔編譯魏國金／綜合報導〕彭博披露，荷蘭政府計畫限制艾司摩爾（ASML）對已出售中國的深紫外光（DUV）微影設備提供維修與保養服務，此舉將使中國半導體製造龍頭中芯國際難以繼續為華為生產七奈米、甚至五奈米製程晶片，進而嚴重打擊北京發展先進晶片產業的企圖。
部分設備最快明年就無法運作
知情人士透露，艾司摩爾為其在中國的微影設備提供零組件與服務的部分許可，今年底即將到期，荷蘭總理史庫夫政府可能不會延長這些許可；此決定預料涵蓋艾司摩爾的DUV微影設備。艾司摩爾出售設備時附帶維持機台運作的維修與保養協議，撤銷相關支援恐導致部分設備最快明年就無法運作。
報導說，該決定是在美國壓力下做成，美國敦促盟邦採取與其一致的出口管制政策，以遏阻中國半導體的進展。美國已表示，若荷蘭等盟邦不配合，華府可能實施外國直接產品規則（FDPR）等單邊措施；該規則允許華府管制含有微量美國技術的外國產品出口。
美國科技媒體Tom’s Hardware指出，荷蘭政府去年中宣布對艾司摩爾Twinscan NXT: 2000i、2050i與2100i型DUV的中國出口實施管制，今年一月更撤銷相關出口許可，這些設備透過多重圖案化技術，可被用來生產七奈米、甚至五奈米製程的先進晶片。
據悉，中芯以先前購置的Twinscan NXT: 2000i等高階DUV，為華為生產第二代七奈米製程晶片；長期被美國制裁鎖定的華為，去年推出搭載七奈米應用處理器的5G手機，震動市場。
但這些設備若無定期保養並更換新元件，可能到明年就停擺，致使中芯與華為更難以透過現有能力取得技術突破；中國還未能開發生產先進半導體的類似微影系統，只能依賴艾司摩爾的設備來生產高階晶片。