2015-04-01經濟日報 記者李珣瑛
為協助台灣設備廠搶進3D IC曝光機市場，國研院儀科中心昨（31）日發表全台第一套在地化、自主設計製造的步進式曝光機投影鏡頭，預計今年底可以完成曝光機光源模組開發，設備廠川寶（1595）、志聖、東捷及旭東等，都有意投入生產。
儀科中心昨天舉辦「半導體製程設備關鍵元組件展示暨招商說明會」，發表相關研發成果，期望累積的技術能量與半導體設備產業串聯，帶動上下游關鍵零組件在地化發展。