【財經中心╱台北報導】台股股后、股價上千元的半導體設備廠漢微科昨與荷商ASML（艾司摩爾）宣布簽署換股契約，ASML將以溢價約31％、每股1410元現金收購漢微科全部股份，總交易金額1000億元台幣（約27.5億歐元），年底前完成購併後漢微科將從台股下櫃。漢微科是台灣最有競爭力的半導體設備廠，這是台灣今年第2大購併案，金額僅次於美光收購華亞科的1300億元，消息一出震撼產業界。
漢微科董事長許金榮說，雙方2年前開始接觸，最近才敲定，為何要出售股權？許說，過去公司一直透過電子束檢測幫客戶解決問題，但製程微縮日益困難，雙方合作可在後製方面做得更精準，為客戶獲得最佳良率。
靠結盟讓自己壯大
漢微科是全球晶圓製程電子束檢測最大供應商，全球市佔率8成，競爭力超過美商應材等國際大廠，去年營收才66億元，股價卻超過千元，是台灣最具技術實力的半導體設備廠。業界分析，在半導體製程即將進入10奈米製程，特別需要極精密檢測輔助，對電子束檢測需求愈來愈大，是ASML願花千億代價收購漢微科的主因。針對最有資格入選台灣國家隊成員的漢微科被外商購併，半導體業界人士表示，雖然有些可惜，但產品線單薄、規模也不夠大，面對研發成本愈來愈高的半導體設備業，漢微科勢必要靠結盟壯大。
經長喊話不算出走也有業界人士憂心，先有中國紫光買南茂、力成，後有華亞科賣給美光，現又有漢微科被買走，台灣企業「外賣」風潮湧現，經長李世光昨喊話，指「漢微科研發中心還留在台灣，不算出走」，且台灣產業需要國際競爭力。此交易仍須經漢微科8月3日股東臨時會通過，以及台灣、美國、韓國及新加坡主管機關核准。投審會官員說，ASML提出申請後，估2個月內完成審查。工業局官員表示，兩家公司產品沒重疊、有互補，將針對如何保障國內員工就業、在台投資規劃，及對半導體上下游影響作評估。
金管會盯內線交易
金管會主委丁克華昨說，漢微科溢價出售，代表「外國人看得起你，同時，這也可見台灣企業高獲利、本益比低，科技股太便宜了。」漢微科股價昨開盤跳空漲停，站上1330元，且一價到底，收盤大漲120元，盤中1.3萬張買單高掛。不過因漢微科出嫁前2周融資餘額倍增至逾千張，遭疑內線交易，金管會證期局主祕周惠美強調，已線上監視，如果有異常會依照規定辦理。
【報你知】電子束檢測
研調機構微驅科技總經理吳金榮說，晶圓廠為了品質及良品率，用檢測設備檢查晶圓製程中是否有缺陷，早期使用光學技術，但進入45奈米製程、甚至28奈米以下，因光學檢測波長不易檢測極細的線寬，須用波長更短的電子束掃描，才能清楚辨識電路與缺陷。目前包括台積電、三星和英特爾等大廠都採電子束檢測。