烏克蘭「斷氖」危機 半導體業緊盯原因曝
工商時報中央社、數位編輯 2022.03.12
整體觀察，關鍵氣體價格飆升，牽動美國所需高純化稀有氣體供應，其他化學品及材料價格上揚，也可能帶動晶片生產成本上漲。圖／本報資料照片

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俄羅斯與烏克蘭戰勢持續，半導體晶圓製造關鍵氣體和化學品材料供應能否順暢備受關注。整體觀察，關鍵氣體價格飆升，牽動美國所需高純化稀有氣體供應，其他化學品及材料價格上揚，也可能帶動晶片生產成本上漲。
俄羅斯2月24日入侵烏克蘭，雙方戰事持續延燒迄今，未有緩解跡象，半導體晶製造所需的高純化關鍵氣體材料和原材料供應能否順暢，已成為全球半導體產業高度重視的議題。
市調研究機構Techcet在2月1日就先行提出報告示警，俄烏戰事開啟將衝擊半導體製造關鍵原材料，尤其是俄羅斯掌握的氖、六氟丁二烯（C4F6）、鈀材（Palladium）等，例如氖是俄羅斯生產鋼鐵後的副產品，送往烏克蘭進行工業等級的純化作業。TrendForce在2月中旬報告中也指出，烏克蘭是半導體原料氣體供應大國，包含氖、氬、氪、氙等，其中氖氣由烏克蘭供應全球近7成產量；天風證券3月8日報告指出，烏克蘭氪氣以及氙氣的全球市占率分別達到40%和30%，去年韓國進口氖氣比重28.3%來自烏克蘭和俄羅斯。
TrendForce指出，儘管半導體廠、氣體供應廠仍有庫存、且有其他地區可供應，但氣體供應量減少，可能造成價格上漲，晶片生產成本可能上漲。
工研院產業科技國際策略發展所研究總監楊瑞臨分析，氖是製造晶片使用的氣體雷射關鍵原料，應用在晶圓製造微影製程所需的深紫外光（DUV）及極紫外光（EUV）曝光機設備；烏克蘭或俄羅斯將工業等級的氖氣，供應給日本和德國等化學大廠再純化，達到半導體等級後，再供應給紫外光曝光設備廠商使用，而美國的半導體大廠，多仰賴日本進口的半導體等級氖氣從事晶圓製造。
Techcet在3月3日報告中指出，俄烏戰事未解，烏克蘭當地純化氣體的工廠已暫停運作，加深全球對邏輯晶片晶圓製造所需關鍵氣體供應是否充足的憂慮，加上俄羅斯受到制裁，可能衝擊氖、氦等半導體等級關鍵氣體供應，例如從烏克蘭間接進口至美國的高純化氖氣，占美國所需量接近50%。
亞系外資法人指出，烏克蘭主要生產氖、氪、氙等稀有氣體的工廠包括Ingas和Cryoin等。
外電日前報導，半導體製造過程所需的關鍵稀有氣體包括氖、氙氣和氪等價格正在飆升，可用庫存和供應已不足以滿足當前需求。
Technet指出，俄羅斯天然氣工業公司（Gazprom）純化工業級氦氣產品，過去6個月的產品交期持續拉長、也開始出現供應問題；美國土地管理局（BLM）供應的氦氣也出現管理和產品供應遞延的問題。
在其他特殊氣體，本土投顧法人指出，俄烏戰事拉長，也可能影響半導體蝕刻製程用的關鍵六氟丁二烯氣體，全球主要由液空（Air Liquide）及林德（Linde）供應，液空在台灣有技轉合作亞東氣體，遠東新轉投資的亞東氣體可供應部分氖氣和六氟丁二烯，台廠聯華也有生產六氟丁二烯。此外，蝕刻用氣體也有替代材料，影響程度可降低。
在關鍵材料，投顧法人分析，俄羅斯也供應鈀材，鈀原來是被動元件積層陶瓷電容（MLCC）內電極主要材料，目前大部分可被較廉價金屬替代。Techcet指出，鈀材也是製造感測元件和磁性隨機存取記憶體（MRAM）的關鍵材料，也是部分封裝材料的基礎，外電指出，美國所需35%的鈀金材料來自俄羅斯。
烏克蘭停產全球逾半氖氣
俄烏戰爭波及半導體產業，在俄軍加強攻勢下，烏克蘭兩大氖氣供應商Ingas和Cryoin已暫停營運，影響用於晶片製程的半數氖氣產量，斷供威脅使晶片製造業蒙上陰影。
路透獨家報導，根據這2家公司和市場研究機構Techcet的數據，Ingas和Cryoin供應全球約45%至54%半導體級氖氣，Techcet估計，去年全球用於晶片製造的氖氣消耗量約540公噸。
上述2家公司代表透露，公司已關閉營業據點，因俄軍加強攻擊火力，造成慘重傷亡並摧毀關鍵基礎設施。全球半導體供應在新冠疫情後已相當吃緊，如今這2家公司斷供，使全球晶片製造業雪上加霜。
CFRA分析師Angelo Zino表示，雖然對晶片業者手上握有氖氣庫存量的估計差異很大，但若戰事持續下去，就會影響產量。「一旦庫存在4月耗盡，晶片製造商未在其他地區鎖定訂單，這可能意味著供應鏈進一步受限，無法為許多關鍵客戶製造最終產品。」
Ingas商務長Nikolay Avdzhy表示，Ingas原本每月可生產1.5萬至2萬立方公尺的氖氣，其中75%流向晶片業，客戶涵蓋台灣、南韓、中國、美國與德國。Ingas位於馬立波，現正遭俄軍強力圍攻。
Cryoin位於敖德薩，每月生產約1萬至1.5萬立方公尺的氖氣。該公司業務開發總監Larissa Bondarenko表示，2月24日俄羅斯發動攻擊時，公司為保護員工安全已停止營運。
 （中時新聞網 郭薇）