2025/08/29 05:30  
台積電2奈米進入大投資擴產，蝕刻是晶圓廠關鍵製程重要設備，一台價格就要上億元。圖為台積2奈米廠3月在高雄擴廠動工。（資料照）
〔記者洪友芳／新竹報導〕晶圓代工龍頭廠台積電（2330）先進製程2奈米爆發洩密案，設備業界透露，台積電在先進製程可說是「一個人的武林」，因應AI（人工智慧）晶片需求旺盛，2奈米進入前所未有的大投資擴產，而蝕刻是晶圓廠關鍵製程重要設備，一台高精密的蝕刻設備價格高達上億元左右，每座2奈米廠需求超過百台以上，台積電採多元供應商策略，主要由美日三大廠分食大餅，為了爭取量產後續訂單，各家供應商需卯足全力改善設備，滿足台積電量產需求，競爭空前激烈。
2大關鍵設備 TEL幾乎包辦
半導體設備圈指出，供應2奈米蝕刻設備「三分天下」，主要三大廠商包括科林研發（Lam Research ）、應用材料（Applied Materials）及東京威力科創（TEL）；其中，TEL在黃光製程微影塗佈／顯影機台設備市占率近100%，爐管設備市占率也達7～8成之多，即使台積電想採多元採購的策略，至今仍沒有其他設備商可跟TEL一爭高下；但在蝕刻設備的競爭性較高。
改善設備搶單 觸犯竊密罪嫌
設備業界人士表示，蝕刻設備又分前段的導體設備、後段的非導體蝕刻設備，科林研發主要供應前段蝕刻設備，應用材料涵蓋前後段，TEL較偏供應後段，台積電2奈米獨霸全球，因應國際客戶對AI晶片的強勁需求，台積電進入前所未有的大擴產，2奈米家族包括台灣規劃竹科2座廠、高雄投資5～6座，美國廠也將投產2奈米製程，因製程相當複雜，2奈米晶圓廠設備涵蓋數百站點。
業界分析，蝕刻是晶圓廠關鍵製程重要設備，主要用於去除晶片表面不需要的材料，以形成所需的電路圖案或其他微細結構；一台高精密的蝕刻設備價格高達300～400萬美元（新台幣上億元左右），每座2奈米廠需求蝕刻設備超過百台以上，商機龐大。
為了爭取量產後續訂單，各家供應商需卯足全力改善設備，滿足台積電量產需求，才能贏得更高的市占率，可說競爭激烈。TEL想從後段跨到前段，分食台積電前段的導體蝕刻設備訂單，但設備還需有改善空間，負責銷售的陳姓工程師可能求工作表現而觸犯竊取台積電機密資訊的罪嫌。