2024/09/10 05:30  
台積電第一台高數值孔徑極紫外光微影設備，機台將在本月到位，最快會引用在A16奈米製程。（彭博檔案照）
〔記者洪友芳／台北報導〕半導體業界透露，晶圓代工龍頭廠台積電（2330）的第一台高數值孔徑極紫外光（High NA EUV）微影設備，機台將在本月到位，最快會引用在A16奈米製程。
高數值孔徑EUV微影設備
業界也傳出，High NA EUV設備價格不菲，一台約達3.5億歐元以上，被台積電等大廠認為太貴，相當於超過新台幣百億元，台積電採購High NA EUV由董事長暨總裁魏哲家、新任資材管理組織副總李文如等相關主管聯手操刀，議價幅度達15%。
預估引用在A16奈米製程
業界表示，High NA EUV設備精密且體積龐大，目前還在研究如何運輸到台灣與竹科廠區，包括進入園區的交通動線規劃，正在審慎評估研究中，預估機台到位後，初期會投入研發，後續可望投入2奈米以下的埃米世代A16奈米製程試量產。
艾司摩爾（ASML）產品管理副總裁Greet Storms上週指出，公司現在的EUV客戶都有下訂單採購High NA EUV設備，公司將與客戶緊密合作，她強調High NA EUV可簡化製程工序並有效節能，對客戶仍具有降低成本的效益。
檢測分析實驗室汎銓（6830）昨也表示，迎接A16等埃米世代、加上考量美中科技戰因素，公司今年暫停投資中國的設備與人員，全力衝刺台灣埃米世代的布局，投資15億元採購30台檢測設備，合作夥伴包括美國AI晶片大廠、台灣晶圓代工龍頭廠，預期明年將進入收割期，後年會更明顯帶來營收與獲利。