台積電（2330）位於南科的晶圓18廠上個月底驚傳遭到氣體汙染，外界一度憂心是否會影響蘋果iPhone年度新機的出貨進度。不過，目前看來，氣體汙染事件的影響極其輕微，主要是因為這個化學反應的關係。

台積電位於南科的晶圓18廠上週傳出疑因氧氣供應受到汙染，導致部分產線停擺。由於晶圓18廠是台積電最先進的5奈米製程生產基地，大客戶正是美商蘋果（Apple），而8月又將進入iPhone處理器「A15」的生產旺季，引起市場高度關注後續影響。

當時，台積電就針對氣體汙染事件表示，已即時調度其他氣體供應。為確保生產品質無虞，正進行嚴密後續作業；這事件目前已知對營運並無造成顯著影響，後續將持續追蹤。目前看來，該事件確實影響極其輕微。

據了解，當時晶圓18廠被汙染，主要是因為半導體製程必備的氧氣，被混入了氬氣（Ar2）。氬氣是一種無色無味的惰性氣體，一般無害，但在高濃度下，會使人窒息。

這次晶圓18廠的氧氣雖然遭到氬氣汙染，但因為氬氣並不參與化學反應，所以對生產過程沒有影響，工廠端只需要清洗儲存槽即可。

法人認為，這起氣體汙染事件，將不影響台積電8月營收表現，也不會干擾蘋果iPhone新機用的處理器「A15」生產。

氬氣常用於半導體、太陽能、顯示器和LED製造商，最常見的用途是為大型矽晶體的生長或大型整塊矽晶鑄塊的生產，提供一種惰性環境；晶體或晶塊經切割後製成太陽能和半導體行業所使用的矽片。

而太陽能晶片生產是氬氣消耗量最大的應用。氬氣還可用於吹掃電子工藝設備，以免較高溫度條件下發生有害化學反應。