【時報-台北電】
晶圓代工龍頭台積電（2330）與設備大廠艾司摩爾（ASML）合作力拱極紫外光（EUV）微影技術，今年開始逐季拉高EUV產能，去年順利擠進全球EUV生態系統的設備廠家登（3680）受惠最大，12吋晶圓載具及極紫外光光罩盒（EUV Pod）大單入袋，訂單能見度直達年底。
ASML去年成功提高EUV系統曝光機產能，包括雷射光源功率提升到80Ｗ，每天曝光晶圓量大於500片。ASML執行長Peter Wennink昨日在法說會中表示，EUV雷射光源功率現在已拉升至100W，所以今年內應可達到每天曝光晶圓量大於1，000片的目標，而2016年每天曝光晶圓量就可上看1，500片，符合晶圓代工廠的量產要求。
台積電去年底正式對ASML下單採購2台NXE:3350B量產型EUV系統曝光機，ASML預計今年中開始出貨，而台積電目前試產中的2台NXE:3300B設備，也會在今年升級為量產型機種。由此來看，台積電將會在10奈米世代開始將部份光罩以EUV製程進行曝光，7奈米將會是大量採用EUV技術的製程節點。
設備業者指出，台積電今年底將擁有4台量產型EUV系統曝光機，若每天1，000片的曝光晶圓量順利達陣，台積電就可以在明年採用EUV技術的月產能將達6~8萬片規模，成為全球擁有最大EUV產能的半導體廠。因此，台積電可以在10奈米世代拉開與競爭同業間的技術差距，2019年進入7奈米世代後，將可靠著EUV技術通吃先進製程晶圓代工市場訂單。
而台積電要在今、明兩年內完成建置EUV生產鏈，仍需要其它設備及材料廠支援，才能建立更完整的EUV生態系統。以台積電及ASML的研發進度來看，台灣只有二家業者順利卡位EUV市場，包括提供電子束檢測設備的漢微科，以及提供EUV Pod的家登。其中，全球目前只有二家業者有能力生產EUV Pod，家登是其中之一。
家登去年12月營收2.23億元，創下歷史新高；2014年全年營收18.65億元，順利改寫新高紀錄。家登過去2年調整組織及業務架構，包括8吋金屬晶舟盒、8吋晶圓傳送盒、12吋晶圓載具等新產品已通過認證，並開始量產出貨給晶圓代工大廠，而今年EUV Pod將受惠於台積電大幅擴建EUV生產線，訂單滿到年底，明年接單更將較今年呈現倍數成長，法人看好今年營收可望突破20億元續創歷史新高。（新聞來源：工商時報─記者涂志豪／台北報導）