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來源:財經刊物   發佈於 2013-09-05 09:40

辛耘獲Plasma-Therm LLC兩岸代理權

辛耘(3583)宣佈取得美國半導體設備大廠Plasma-Therm LLC的台灣及中國代理權。Plasma-Therm LLC是一家總部設在美國的半導體設備生產商,成立於1974年,為全球電漿蝕刻和薄膜沉積設備的領導廠商,可應用於眾多專業市場包括半導體先進封裝、固態照明、薄膜磁頭、微機電(MEMS)與化合物半導體(LED, Wireless Device, Power Device)市場;Plasma-Therm LLC亦生產先進光罩之蝕刻設備,在全球各地擁有極佳銷售實積,並且在電漿加工技術方面擁有超過37個專利。
Plasma-Therm LLC曾於2011年取得瑞典真空和薄膜設備供應商Advanced Vacuum的多數股權,因而擴大其產品組合並提升全球市場占有率,該兩家公司都是蝕刻和沉積系統的領先供應商,其中Advanced Vacuum具有以低成本提供高效能產品的卓越聲譽,Plasma-Therm LLC則強調以價值為導向的研發能力;該交易因此得Plasma-Therm LLC在控制系統升級領域的專業知識,而起發揮客製化設計和製造電漿蝕刻和薄膜沉積設備的能力。
辛耘表示,電漿加工,由於其屬於「乾式製程」,可用於薄膜的鍍膜(氣相沉積)、去膜(蝕刻、灰化、去光阻)、表面處理(改質、清潔)等,由於其具有節水節能、安全經濟、低污染、效率高的特點,加上所有製程不會造成環境污染、不需要廢水處理系統,可有效配合全球市場符合綠色化、清潔化的加工技術理念,深具發展潛力。
包括光學元件業中的鏡片硬化/耐磨層、透鏡抗反射膜;塑膠製品業的PC、PMMA表面耐磨、殼耐磨處理、金屬鍍膜或塗裝的接著改良;複合材料業的Type Cord接著改良、補強纖維接著改良;人造纖維業的纖維表面親/疏水性改質、纖維表面功能性鍍膜;生醫製品業的Blood compatibility coating (oxygenator), Membranes & drug delivery devices;以及電子及通訊產業常見的電腦或通訊器材EMI shielding、Dielectrics、Electrical insulation、Passivation與Sensors等,都必須利用到電漿加工,應用層面可謂相當廣泛。

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