台積電導入創新氨氮廢水處理系統 年省1億、減碳近9千噸實踐水資源再生


魏鑫陽
2025年6月30日 週一 下午10:20




全球半導體龍頭台積電（TSMC）在水資源永續管理再創里程碑。為呼應聯合國永續發展目標（SDG）第6項「淨水與衛生」，台積電於2024年研發完成「氨氮廢水分流查核處理系統」，並於2025年6月正式導入晶圓二十廠第一期廠區。據內部評估，此創新系統每年可減少碳排達8950公噸、節省成本約新台幣1.02億元，為半導體業界打造廢水資源化管理新標竿。
「我們不只是處理水，更希望創造資源循環的新價值，這就是為什麼我們選擇從製程源頭下手。」台積電廠務單位負責人指出，新系統運作三階段流程：「精準分流、查核管理、循環再生」，可精準識別並分流不同濃度的氨氮廢水，分別導入生物處理或脫氣膜技術，使氨氮轉化為可利用的微生物氮源與硫酸銨，展現出水資源再利用的最大效益。

氨氮廢水分流查核處理系統運作機制。（翻攝自台積電網站）
從「混處理」走向「分質治理」 3階段處理有效降低藥劑量
回顧過去，台積電對來自機台的不同濃度氨氮廢水，採混合後統一處理的方式。然而，混合水體氨氮濃度偏低，須先以逆滲透技術濃縮，再進一步以脫氣膜去除，導致處理成本與化學藥劑使用量居高不下。
為突破瓶頸，台積電由濕式清洗製程與廠務團隊聯手，在源頭進行創新設計。首先透過資料建模與行為分析，建立「濃度梯度分流規則」，完成第一階段「精準分流」；接著，在第二階段中，開發機台內部的聯管查核方法，針對晶圓二十廠第一期的約1000台機台、5887個排水點，逐一完成查核，並調整排水配置與系統軟體，提升分類效率與操作安全性。
「這不僅是科技，更是一種管理創新。」內部工程人員表示，經過前兩階段改良，系統已能讓氨氮廢水濃度提高2倍，無需再依賴逆滲透過程，藥劑使用量因此降低30%，導電度也降低40%。
再生回收實踐循環願景 新系統將成新廠標配
第三階段聚焦「資源循環再生」：團隊經過長期測試與模擬，精準掌握氨氮濃度、水量、硫酸銨轉化比例與最終排放濃度，將不同濃度廢水分流後，低濃度部分供生物系統作為微生物養分使用；高濃度部分則以脫氣膜技術轉化為硫酸銨，真正實現「變廢為寶」。
未來，這套氨氮分流處理技術不僅將列為台積電所有新建晶圓廠的標準設計，也優先導入7奈米以下製程廠區。同時，台積公司也積極推動其他類別含氟廢水的再利用，探索轉化為高純度冰晶石的可能性。
「水是珍貴資源，我們相信，每一滴水都應該被善用。」台積電強調，透過技術創新、精準管理與跨部門協作，將加速邁向高效、低碳、循環的製造體系，落實對永續願景的承諾。