2026/07/28 22:45  
分析師認為，中期內，中國製造的DUV並不會對艾司摩爾的獲利造成衝擊。（路透）
〔編譯魏國金／台北報導〕中國開始量產自主研發的浸潤式深紫外光機（DUV），此舉朝降低對外國技術依賴邁出關鍵一步。路透引述消息來源率先披露，主導該生產的是鮮為人知的中國國營公司上海愛晟納電子科技集團（Aishengna），成立僅3年。
報導說，根據公司紀錄，愛晟納於2023年8月成立，註冊資本額70億人民幣（335.12億台幣），僅由兩家國有股東支持：上海電氣控股公司，以及上海國際信託公司1家子公司。
愛晟納沒有公司網站，也沒有揭露任何營運的公開資料。消息人士說，該公司整合了上海微電子裝備集團（SMEE）與上海宇量昇科技的團隊，去年宇量昇開始測試一台DUV原型機。
上海微電子裝備以及上海宇量昇科技都深度參與北京的半導體自主計畫。宇量昇是華為投資的設備製造商新凱來（SiCarrier）的關係企業。公司與招聘紀錄顯示，愛晟納與宇量昇在上海共用一個地址。
科技業新聞媒體The Information 27日率先報導，上海一家未透露名稱的國有企業開始製造DUV，預計今年生產5台，2027年約生產20台。
路透首度披露該公司名稱。知情者說，愛晟納的DUV機台預計需進一步進行測試，其品質仍與荷蘭艾司摩爾（ASML）的同類產品仍有一大段距離。然而，若西方持續限制DUV的出口，國產DUV將是中國晶片製造商的另一種設備來源。
The Information報導，中國製DUV機台預計今年交付給中芯國際、華虹半導體與長鑫存儲。
分析師指出，儘管相關消息引發市場反應，但中期而言，不太可能對艾司摩爾（ASML）的獲利造成影響。
摩根大通分析師28日指出，「生產一些浸潤式DUV工具與製造可用來大量生產晶片的工具是兩碼子的事，對於後者，良率、疊對精度、產出量與數千片晶圓運作的可靠性才是關鍵」。