旺矽科技攜手羅德史瓦茲（R&S）建置了高精度晶圓研發測試解決方案，其中包含了MPI晶圓探針台系統與QAlibria校正軟體，提供射頻與毫米波元件及積體電路研發人員從校正、模擬、設計、驗證到除錯等完整的晶圓研發測試解決方案；進一步確保半導體元件的品質與可靠度，避免後段製程中構裝成本的浪費。
在複雜度與日俱增的奈米製程和時間與成本的雙重壓力下，晶圓的設計、測試與驗證已成為一大挑戰；旺矽推出全新的MPI晶圓探針台系統以呼應市場需求，此探針台系統為兼具了易於操作與高準確度的手動測試平台，並注入多項獨特的設計概念。此外，旺矽攜手羅德史瓦茲打造了QAlibria校正軟體，此軟體可直接安裝於 R&S ZVA高階向量網路分析儀中進行S參數量測，大幅提升測試準確度並加速射頻電路設計。
MPI晶圓探針台系統的氣靜壓載台設計，採用了單臂氣浮式控制，大幅加速XY軸定位與晶圓裝載速度，精確度可達25mm×25mm XY-Theta微米移動。在平台升降的設計上，可達1μm的高精確度，採接觸、分離到裝載三段式設計，並配備安全鎖避免意外發生造成探頭或晶圓的損壞。精巧且剛性的平台設計，最多可容納10個DC或4個RF微定位，滿足各種不同的應用需求。
MPI提供了多種晶圓載台選擇，包括了MPI同軸載台、三軸載台、及支援量測溫度達300℃的多種ERS升溫載台，並可與熱感應器無縫整合；RF載台則包含了2個內建陶瓷材質的輔助載台供校正片使用，以提供準確的RF校正。此外，MPI探針台系統提供了多種顯微鏡調節基座的選擇，並支援達90度傾斜或透過氣動控制、以及線性Z軸升降；適用於一般DC/CV的應用或MPI SZ10/MZ12於RF的配置，甚至可以搭配如Mitutoyo FS70或PSM-1000高倍率觀測顯微鏡進行錯誤分析應用。MPI亦提供減震底座與EMI遮蔽暗室供客戶進行選配。
旺矽與R&S攜手打造的MPI QAlibria免費校正軟體，可直接安裝於R&S ZVA高階向量網路分析儀中，進行精確且可重複的S參數量測，快速掌握元件的集膚效應和介電損耗，精確地蒐集更高階的諧波 頻率等測試數據。R&S ZVA支援頻率範圍達110GHz，極高的動態範圍與輸出功率、及快速的量測速度，為毫米波頻段主動及被動元件量測的最佳解決方案；透過搭配R&S毫米波轉換器可延伸 R&S ZVA頻率範圍至500GHz。R&S ZVA於晶圓量測上，可同時搭配4個頻率轉換器進行毫米波差動量測。R&S ZVA亦可執行微波頻段之混頻器及脈衝量測。