2014-09-04 經濟日報 記者簡永祥／台北報導
台積電取得跨足10奈米以下先進製程最關鍵的極紫外光（EUV）機台，擺脫半導體摩爾定律可能受到的物理極限限制，成本還有再下降空間，未來將持續用來生產高通、蘋果等大客戶高階晶片。
EUV機台要價9，000萬歐元（約新台幣36億元），被譽為是「半導體設備中的鑽石」，由於造價昂貴，已豎起進入門檻。
據了解，除了台積電之外，三星、英特爾、IBM也是向艾司摩爾下單EUV機台的「大戶」，這些公司將同時取得進入10奈米以下世代製程的門票，半導體業「愈高階製程愈走向寡占」的態勢更加確立。
主導EUV設備開發的艾司摩爾（ASML）亞太區技術行銷協理鄭國偉昨（3）日在台北國際半導體展（SEMICON Taiwan）開幕首日，透露相關訊息。
他表示，艾司摩爾已接獲多家半導體大廠共11台EUV訂單，首批六台已交貨，台積電在出貨名單之列。預料今年下半年到明年第1季，另五台設備也將完成交貨。
艾司摩爾這項宣布，透露先前遭遇技術瓶頸的EUV設備，克服關鍵輸出率不佳的最大瓶頸，有助半導體廠加速導入10 奈米量產腳步。
設備商透露，艾司摩爾現有11台EUV訂單當中，有兩台是台積電下單，其中一台已在台積電竹科12廠安裝完畢，正進行10奈米製程研發，另一台可能在明年首季於台積電中科廠裝設。台積電昨未對此置評。
業界評估，台積電有了EUV機台之後，先進製程推進腳步將更如虎添翼，甩開原本業界憂心礙於物理限制、恐無法順利導入10奈米以下製程的問題，若良率提升狀況順利，有助台積電成本持續下降。
鄭國偉說，艾司摩爾有信心，協助客戶在今年底前試產10奈米製程，並於2016年導入量產，後續也將著手為更先進的7奈米製程做準備。
業界預期，台積電10奈米製程量產之後，初期仍將承接高通、蘋果等需要更省電、更高階製程需求的行動通訊晶片大客戶訂單。台積電昨天漲2元、收128元；美國存託憑證（ADR）也在先進製程布局報喜激勵下，早盤漲逾1%。
艾司摩爾在開發EUV機台初期，考量相關投資龐大，對台積電、英特爾、三星提出投資邀約，希望集結各大廠的資源共同開發，三家業者隨後都同意入股。台積電在2012年10月投資8.38億歐元（約新台幣335.2億元），取得艾司摩爾5%股權。