人類 發達集團副總裁
來源:您真內行   發佈於 2024-09-25 01:59

遙遙領先!?什麼!中國自製深紫外光(DUV),可做到8奈米晶片?深入探討中芯國際的製程能力!



00:00 開場大綱 | Introduction
01:54 什麼是積體電路(IC:Integrated Circuit)?
03:52 如何將光罩上的圖形轉移到矽晶圓上?
07:20 什麼是曝光機的「疊對誤差(Overlay)」或「套刻精度」?
09:51 中國大陸工信部到底發表了什麼?
16:33 什麼是「自對準多重曝光(SAMP:Self Aligned Multiple Patterning)」?
19:04 使用自對準多重曝光需要更低的「疊對誤差」
22:11 中芯國際目前的製程能力到底如何?
25:02 到底目前中國自製深紫外光(DUV)曝光機製程能力如何?
24:18 結論 | Conclusion

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