| 【時報-台北電】碳化矽發展進程加快，環球晶（6488）董事長徐秀蘭26日指出，環球晶克服碳化矽長晶的技術困難，已將碳化矽（SiC）長晶成功推進至8吋，與國際大廠同步。 她預期，2024年第四季8吋碳化矽產品開始小量出貨，2025年開始放量成長，2026年將「8上6下」，8吋總出貨量比重將超越6吋。 財團法人光電科技工業協進會主辦「第三十一屆國際光電大展」，於台北南港展覽館展出，環球晶與母公司中美矽晶、集團旗下轉投資朋程科技同時參展，並各自推出化合物半導體的最新成果。 就碳化矽發展進度，徐秀蘭在展場受訪時透露，環球晶8吋碳化矽長晶良率太好了，但產出爐數還不夠，還有成長的空間，目前比50％高一些。 環球晶強調，目前已具備8吋碳化矽長晶、切割、研磨及拋光技術能力，明年上半年可以送樣品。徐秀蘭說，客戶希望環球晶盡快排出6吋及8吋的切換時程，做到「8上6下」，8吋碳化矽需求出乎她先前預期，主要是來自車用客戶的要求。 目前環球晶碳化矽基板主要在台灣生產，未來碳化矽磊晶將會在美國廠進行，並會再拓展二個基板廠、二個磊晶廠。 碳化矽晶體因需於極高溫密閉環境下生長，長晶爐熱場及坩堝材質等因素須通盤考慮設計，增加了設備和操作的複雜性。 環球晶自主設計開發碳化矽專用長晶爐，在實現更高材料品質控制的同時，進一步降低長晶成本。 碳化矽高硬度與高脆性，使後續晶圓加工過程非常困難。環球晶以更高製程精度與更有效晶圓處理方法，實現碳化矽晶圓的超薄加工。 此次展場中展出的6吋90微米及8吋350微米碳化矽超薄拋光晶圓，也成為眾人矚目焦點，環球晶的薄化技術能力，將減少客戶後段處理工段及成本，也符合低碳環保訴求。(新聞來源 : 工商時報一李娟萍／台北報導) |
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