今年是台灣56年來首次夏季無颱風侵襲,導致降雨量銳減,全台水情拉緊報;許多科技廠都是用水大戶,台灣若是缺水,將衝擊產線;台積電、聯電、友達(2409)和群創等紛紛投入水資源回收和綠色製造,要將「一滴水」的效用發揮到極致。
晶圓代工龍頭台積電行節約用水,提高製程水回收率,根據台積電官網企業社會責任專區顯示,台積電將純水設備及製程機台的排放水依照其乾淨程度分級,透過製程分流的排水管路及建置各種用水回收系統,一滴水進台積公司廠區平均可使用3.5次,創造一滴水350%的使用率。

取自/台積電官網企業社會責任專區
隨著半導體製程趨向FinFET發展,各類化學品材料種類及用量日益增加;從晶圓清洗至無塵環境的維持,水都扮演關鍵角色。台積電2019年單位產品用水量比2010年降低了5.2%。
台積電一滴水平均使用3.5次
「我們透過水資源風險管理、拓展多元水資源、防治技術開發三大面向,建構水循環在各層面的應用,使每一滴水在廠區的使用效率最大化」,台積電主管解釋。
台積電將純水設備及製程機台的排放水,依照純淨程度分級,使最乾淨者優先循環純化回製程使用,次乾淨者經水回收設備處理後,供應生產機台以外的用水單元使用;無法回收使用的廢水則導流至廠區內廢水處理廠,不斷將可再次使用的水經過精製後循環使用於製程、冷卻水塔與汙染防制系統。
聯電一滴水平均使用3.7次
另一晶圓代工大廠聯電則是全球第一家實施「水足跡」的半導體公司,每年回收水產量超過2000萬噸,相當於5萬多個家庭的年用量。聯電表示,秉持「以人為本、與社會共榮」的核心理念,在致力於公司營業成長外,也善盡一己之力,對社會有所回饋。
聯電指出,公司的平均用水回收率可達85%,新竹廠區用水回收率更高達近九成,相當於一滴水重複使用3.7次;聯電持續強化節能,目標今年聯電能達成節水、省電、減廢各10%的目標。
聯電由於內部積極管理用電、用水及碳排放,去年創造新台幣4.5億元的經濟效益;水資源管理效益達22萬噸,相當116座國際標準游泳池;廢棄物管理效益達3.9萬噸,相當2.3萬家戶一年廢棄物產出量。聯電推動經濟循環,日前發起淨灘活動,南科與竹科兩地員工以行動表達對海洋的關心。
友達一滴水平均使用11次
面板廠用水量極大,面板雙虎群創、友達近十年積極開發節水技術和相關應用,節水比晶圓代工廠還厲害。友達董事長彭双浪本月6日出席台灣循環經濟週跨部會聯合記者會時,他透露:「友達一滴水用到11次」。
友達為兌現對龍潭廠週邊里民的承諾,展開廢水零排放技術研發,2015年底宣布,達到製程用水100%全回收的目標,讓每日約1.8萬噸用水(相當9.5個標準游泳池用水),全部回到廠内使用,且製程用水零排放,使環境負荷降為零。
在這之後,友達更將這支擁有水處理技術的團隊,衍生成立為「宇沛永續科技」來發展循環經濟,已在兩岸都成功取得訂單。
群創一滴水平均使用7次
群創早在2017年4月展示「一滴水用七次」的節水成果,是率先推動「水中和」的面板科技大廠。群創表示,水資源的回收再利用是節水工作的重要環節之一。群創長期培養大量具水資源相關技術的專家,不僅研究、嘗試節水回收技術,也與各大學產學合作,克服技術問題,讓每一滴水的使用效益逐年提升。
群創CSR企業社會責任永續長陳志明指出,有鑑於台灣缺水風險,群創2010年便設定台南第五廠區廢水零排放目標,2016年台南五廠即晉升為「有效益零排放示範廠」,製程回收率高達99.5%。
以近期與成大共同開發中的「具高硝酸鹼氮/高導電度廢水處理技術」為例,除可減少對環境的衝擊,又可提高水的回收率,已達成單位投片面積用水量為同業最優的紀錄。