（中央社記者張建中台北2014年9月4日電）
半導體設備廠應用材料集團副總裁暨台灣區總裁余定陸看好電子束市場成長潛力，預期未來5年電子束市場規模可望倍增。
余定陸表示，鰭式場效電晶體(FinFET)及3D儲存型快閃記憶體(NAND Flash)，明年將掀起一波投資新熱潮。
余定陸預估，2018年全球將建置50萬片3D FinFET產能，3D NAND產能也將達100萬片規模。
余定陸同時看好，電子束市場未來成長潛力，預期未來5年電子束市場規模可望倍增。