台積啟動竹科再生水廠專案 將導入2奈米廠
工商時報 涂志豪 2022.10.31
台積電將持續擴大再生水應用範圍,今年已啟動竹科再生水廠專案,預計2025年每日可供應工業再生水1萬公噸,並導入2奈米製程廠區。圖/本報資料照片
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晶圓代工龍頭台積電(2330)南科再生水廠日前完成通水,是全球首創工業再生水回用半導體製程,而台積電將持續擴大再生水應用範圍,今年已啟動竹科再生水廠專案,預計2025年每日可供應工業再生水1萬公噸,並導入2奈米製程廠區,目標於2030年台灣廠區再生水替代率達60%以上。
台積電致力推動水資源永續管理,積極落實製程節水與廢水分流,廠區水回收已達一滴水使用3.5次的成效。為更精進用水效率,台積電投入再生水技術發展,攜手政府單位開發符合自來水供水標準的民生廢水再生流程及工業廢水回收技術,並與中鼎集團合作打造全球首座工業再生水回用至半導體製程的再生水廠,今年9月台積電南科再生水廠完工並正式通水,年底前每日可供應1萬公噸工業再生水,朝多元水資源循環再生的永續目標邁進。
台積電南科再生水廠是南科廠區再生水製造、偵測與供應中心,除回收南部科學園區汙水廠放流水以產製工業再生水外,並於永康及安平汙水廠市政再生水進入廠區前把關水質。目前台積電亦投入研發以廢熱進行濃縮廢水回收與汙泥資源化技術,避免濃排廢水外流,進一步降低環境衝擊,預計2026年南科再生水廠產能將提升至每日供水3.6萬公噸,持續降低自來水用量需求並友善環境。
拓展多元水資源為台積電水管理永續發展的重要策略,台積電將持續擴大再生水應用範圍,今年已啟動竹科再生水廠專案,預計2025年每日可供應工業再生水1萬公噸,導入2奈米製程廠區,並配合市政再生水供應,未來可達成竹科新建廠區100%使用再生水,目標於2030年台灣廠區再生水替代率達60%以上。