財訊新聞 　 2026/07/28 09:46

【財訊快報／陳孟朔】中國據報已開始小量生產自主研發的浸沒式深紫外光(DUV)曝光機，刺激A股曝光機概念股週二逆勢高開且現漲停潮。波長光電(301421.SZ)、永新光學(603297.SH)、張江高科(600895.SH)及海立股份(600619.SH)開盤即一字漲停，茂萊光學(688502.SH)與藍英裝備(300293.SZ)漲幅均超過10%。

科技媒體《The Information》(信息報》報導，一家位於上海、具國資背景的企業整合中國多個浸沒式DUV研發團隊後，已開始生產國產設備。今年初期產量估計僅約5台，2027年可能提高至約20台，顯示產品仍處於小量試產及客戶驗證階段。

首批系統預計年內交付中芯國際(00981.HK；688981.SH)、華虹半導體(01347.HK；688347.SH)及長鑫科技(688825.SH)。若設備能通過晶圓廠測試並穩定投入量產，可望降低中國晶片業對荷蘭艾司摩爾(ASML)浸沒式DUV設備的依賴，並帶動鏡頭、光學元件、雷射光源及精密控制系統等國產供應鏈需求。

不過，國產設備目前在曝光精度、產能、良率及長時間運作可靠性方面，仍須接受晶圓廠實際驗證，短期產量也遠不足以取代進口設備。中國研發的極紫外光(EUV)曝光機則仍處於原型階段，因此A股概念股大漲主要反映供應鏈國產化預期，並不代表國產設備已經實現大規模商業量產。