2023/12/29 05:30  
經濟部指出，荷商艾司摩爾（ASML）、美商應用材料，以及美商科林研發等3家指標大廠，來台設立高階研發中心，全球前三大半導體設備商已全數到齊。（路透）
〔記者廖家寧／台北報導〕經濟部昨指出，荷商艾司摩爾、美商應用材料及美商科林研發等三家指標廠商來台設立高階研發中心，全球前三大半導體設備商已全數到齊，可望新增對台採購一三三億元，並帶動四三三七億元在台投資、促成五十家台廠切入國際供應鏈，台灣也成為全球半導體設備研發密度最高之地。
全球第三大半導體晶圓設備製造供應商科林研發，日前宣布在台設立先進節點及高階製程技術研發中心；經濟部技術司說，主要目標是落實在台供應、在台培育、在台研發等三大目標，以完善台灣的設備組件及人才體系，並提升台灣的自主研發能量。
除了吸引國際大廠來台研發外，經濟部表示，亦著重建構先進半導體設備及高階材料在台發展的能量，近五年已投入近六十五億元，補助國內設備及材料業者投入自主技術研發，協助國產設備及材料通過台積電、日月光、聯電等半導體廠商的品質可靠度驗證，已帶動一三七項國產產品進入半導體國際供應鏈。且在經濟部補助支持下，台廠在半導體前段生產設備、高階封裝設備，以及關鍵製程材料等方面都有所突破。
以國內設備為例，力鼎公司的金屬接點種子層鍍膜設備、弘塑公司的光阻去除設備，以及億力鑫公司的塗佈顯影設備等，均已通過半導體客戶的量產品質驗證，成功打進國內先進封裝產線；國內材料在經濟部產發署補助下，協助宇川、永光化學及環球晶等業者，建置光阻配合材料、原子層沉積前驅物和碳化矽晶圓等半導體材料技術，並通過下游客戶驗證。