【時報記者沈培華台北報導】電子束檢測設備大廠漢微科 （3658） 正面迎戰美商科磊（KLA-Tencor）的挑戰，第四季將推出結合兩大掃描優勢的新機台eScan500，持續鞏固優勢競爭力。
美商科磊在光學式檢測（optical inspection）設備市場稱霸多年，卻在電子束（e-beam）檢測設備領域被漢微科搶得機先，日前科磊喊話，力圖自漢微科手中搶回市占率。
漢微科董事長許金榮回應，先進製程縮微，電子束檢測已成必需品，漢微科機台具備高檢測效能；許金榮也強調，漢微科不僅已推出多槍式（multi-gun）的電子束機台，最新版本的系統eScan500將在第四季推出，該款系統結合跳蛙式（leap scan）與連續式（continuous scan）兩種檢測方式之長，可提升檢測的整體效能，進一步提升機台競爭力。
漢微科受惠半導廠擴增高階製程，挾著其在電子束檢測設備的高市占率，受景氣影響不高，法人預估第三季營收攀上新高，第四季可再創新紀錄。