【時報-記者柯婉琇綜合外電報導】日本經濟新聞周五報導指出，日立(Hitachi Ltd)及其他13家日本企業將共同開發先進的微機電系統(MEMS)製造技術，希望競爭力足以趕上歐美競爭對手。
除了日立外，其他13家參與共同開發者包括：歐姆龍公司(Omron Corp)、松下電工(Panasonic Electric)、三菱電機(Mitsubishi Electric)、大日本印刷(Dai Nippon Printing Co)、優貝克( Ulvac Inc)等龍頭企業。日本國家先進工業科學技術研究所計劃，最快於11月推出價值30億日圓的MEMS設備，這14家企業將藉此累積專業MEMS生產技術。
日經指出，當日立及其他日本公司使用100毫米矽晶片生產MEMS晶片時，其歐美對手已引進200毫米技術，約可使製造成本減少逾50%。日本企業期望藉由共同開發，加速轉進200毫米尺吋技術，希望最快能在2011年秋天開始投產。