2011-09-08 工商時報 【記者涂志豪／台北報導】
台積電仍信心喊話，除了第4季營運可望好轉，台積電研發資深副總經理蔣尚義昨（7）日出席台灣半導體展（SEMICON Taiwan）指出，28奈米能拿到的訂單都拿到了，明年需求非常好，現在產能全數滿載。
此外，台積電20奈米研發進展順利，將於明年9月量產，18吋晶圓將於2015年在新竹建立生產線試產。
歐洲債信危機及美國失業率居高不下等問題，持續影響全球總體經濟及終端需求，半導體市場第3季旺季不旺，第4季能否止跌回升，至今仍是眾說紛云。台積電位於電子生產鏈最上游，近期已感受到訂單開始回流，其中28奈米先進製程訂單陸續到位，對第4季產能利用率回升有很大的幫助。
蔣尚義表示，台積電28奈米目前已完成設計定案（tape-out）並開始交貨的晶片，所有性能都達到要求，對此相當滿意，而28奈米能拿到的訂單也都拿到了，目前28奈米產能全滿，明年28奈米的需求將會非常好。
據設備業者表示，台積電第4季開始投片生產的28奈米訂單，包括阿爾特拉（Altera）及賽靈思（Xilinx）的可程式邏輯閘陣列（FPGA）晶片、高通3G基頻晶片及Snapdragon處理器、超微及輝達（NVIDIA）的新一代繪圖晶片等。明年第1季開始，包括瑞薩、富士通、博通等訂單也將陸續到位。
台積電20奈米研發進展順利，明年9月就會導入量產，明年要開始進行的14奈米製程研發，也到了要決定使用何種微影技術，包括極紫外光（EUV）或多重曝光浸潤式顯影技術。蔣尚義表示，EUV的設備機台目標是每小時產出100片晶圓，但現在研發機台只能產出5片，多重電子束（MEB）只有1片，離量產效率還差很遠。
蔣尚義表示，20奈米世代EUV技術尚未完備，所以仍採用多重曝光技術，但有成本增加且效率減半的問題，客戶轉換製程意願會降低，因此，隨著製程持續微縮，除了靠微影技術上的突破外，只好移往大尺寸的18吋晶圓生產。對台積電來說，移轉到18吋晶圓，人力及廠房數均可減少，還可降低水電耗費，2015年會在新竹建立生產線試產，但量產時間現在仍難以預估。