台積新技術 廢氣削減99.5%
工商時報 涂志豪 2021.01.01
台積電以零排放為目標，致力發展空氣汙染防制技術，截至2020年揮發性有機氣體的平均削減率連續第6年超過95％。圖／本報資料照片


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晶圓代工龍頭台積電在綠色製造又有重大突破，領先業界開發沸石濃縮雙轉輪技術，廢氣削減率達99.5％，沸石濃縮雙轉輪系統將為未來新建廠區的標準設備，截至2020年已完成建置於Fab 15B廠及Fab 18A廠，預計2021年第一季完成Fab 18B廠建置。
此外，台積電2020年領先業界將低耗能管路加熱系統導入先進製程，預計將於2025年進一步導入台灣全數12吋晶圓廠區及Fab 18B廠的3奈米與2奈米製程，每年預計將節省8000萬度電。
台積電以零排放為目標，致力發展空氣汙染防制技術，截至2020年揮發性有機氣體的平均削減率連續第6年超過95％。針對揮發性有機氣體削減，台積電各廠使用沸石濃縮轉輪結合燃燒爐處理揮發性有機氣體，其去除效率可達95～97％，遠優於法令排放削減率應大於90％規範。

為進一步導入新技術優化防制設備效能，台積電廠務處攜手供應商，領先國內採用沸石濃縮雙轉輪系統技術，將原經過第一道轉輪吸附並燃燒後的高濃度製程廢氣，新增第二道轉輪濃縮流程後再送回第一道轉輪反覆處理，成功使削減率達99.5％。沸石濃縮雙轉輪系統將為未來新建廠區標準設備，截至2020年已完成建置於Fab 15B廠、Fab 18A廠，預計2021年第一季完成Fab 18B廠建置。
台積電持續優化製程能源使用效率，2020年領先業界將低耗能管路加熱系統導入先進製程，透過高效熱絕緣體減少熱散失，成功的使機台加熱管減少約25％能耗。目前已導入Fab 15廠第7期廠區，預計將於2025年進一步導入台灣全數12吋晶圓廠區，以及Fab 18B廠的3奈米與2奈米製程，每年預計將節省8000萬度電。
台積電供應晶圓生產機台的氣體管路，以往為避免管線內部形成結晶、造成堵塞，必須在機台運作期間，對管路外部的加熱設備不斷供電以維持管路表面高溫，確保管線通暢。傳統套件僅著重於管線的加熱功能，而忽略表面材質的保溫表現，導致熱能逸失而造成電力浪費。
由台積電節能減碳委員會引領的節能團隊，攜手供應商利用「降低熱損失」的概念，運用以往主要應用於建築物隔熱的氣凝膠材質，取代玻璃纖維做為供氣管路外層，成功領先業界開發第一套低耗能管路加熱系統，2020年3月於Fab 15廠第7期優先試行，全面減少熱散逸及熱能耗損。台積電將平行複製該系統，台灣廠區2025年起全面省熱節能。
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