鈞鈞 發達集團副董事長
來源:財經刊物   發佈於 2020-08-10 12:19

應材新推蝕刻系統 主攻3D NAND、DRAM與邏輯晶片

【時報記者沈培華台北報導】應用材料公司宣布為先進記憶體與邏輯晶片推出全新Sym3蝕刻系統,能用於3D NAND、DRAM與代工邏輯節點的關鍵導體蝕刻應用,已出貨5000個Sym3反應室,是公司史上量產最快速的產品,為協助客戶打造先進記憶體與邏輯晶片再下一城。 應用材料公司宣布,在極為成功的Centris Sym3蝕刻產品系列中加入一項新產品,能幫助晶片製造商精準圖形化,在尖端記憶體晶片與邏輯晶片中打造出尺寸體積更小的功能,這項全新系統已為全球多家領先的NAND、DRAM與代工邏輯客戶所採用。 全新的Centris Sym3 Y是應材最尖端的導體材料蝕刻系統,運用創新的射頻脈衝技術,依據客戶需求提供非常高的材料選擇比、深度控制與輪廓控制,在3D NAND、DRAM與邏輯晶片中打造出最密堆疊的高深寬比結構,包括FinFET(鰭式電晶體)和新型的閘極全環(gate-all-around)架構。 Sym3蝕刻系統自2015年推出以來,已成為應材史上量產最快速的產品,公司才剛出貨第5000個反應室。Sym3產品系列是應材策略成功的關鍵,提供客戶打造與材料圖形化的新方法,協助推出新穎 的3D結構,以及持續微縮2D結構的新方法。 應材運用獨特的CVD圖形化薄膜,與Sym3系統進行共同最佳化,促進客戶增加3D NAND記憶體元件中的層數,並減少四重圖形化在DRAM應用層所需的步驟,結合應材的尖端電子束檢測技術,希望加速業界最先進節點的研發及高產能的生產,協助客戶改善晶片功率、性能、面積成本及上市時間。

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