中芯拚7奈米 砸1億留梁孟松 量產時間曝光
工商時報 數位編輯 2021.06.28
拜登政府上台後，傳出半導體生產設備有望出貨給中芯國際。圖／中新社


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大陸晶圓代工龍頭中芯國際去年遭到美國商務部列入實體清單，美企被迫與該公司斷絕業務往來，但是在拜登政府上台後，傳出半導體生產設備有望出貨給中芯國際，加上陸企廣泛在市場上收購二手設備，以及與荷商艾司摩爾（ASML）簽訂採購合約，就算美企供或遙遙無期也能有解方。由於中芯國際為大陸少數擁有前進先進製程技術的廠商，近期揭露資料顯示，中芯國際聯合首席執行長梁孟松獲得40萬股限制性股票，市值約2400萬元人民幣（約1億元新台幣）。
從中芯國際發布的「2021 年第一次臨時股東大會決議公告」，核准根據「2021 年科創板限制性股票激勵計畫」內容，決議授予梁孟松40萬股中芯國際A股限制性股票，若以6月25日收盤價來計算，換算價值為2372.4 萬元人民幣。
中芯國際去年下半年先是遭到美方列入出口管制措施，導致無法取得先進製程設備，更讓14奈米製程之後的N+1、N+2製程研發受到影響，最後更是被列入貿易黑名單，要出貨都須經過美國商務部核准。去年12月間，原台積電營運長、前武漢弘芯執行長蔣尚義將回鍋中芯國際，並擔任該公司副董事長，卻導致原為台積電前研發處長的梁孟松憤而遞交辭呈。
蔣尚義在回鍋中芯國際前也提到，將加強發展先進封裝技術與小晶片研發，梁孟松則是堅持發展先進製程，最後雙方似乎和解，並一同名列在中芯國際董事會上，一來中芯國際依靠自身實力深化成熟製程發展，並在今年3月公告，與獨家供應極紫外光（EUV）曝光設備的荷商艾司摩爾（ASML）簽下一份12億美元的深紫外光(DUV)微影設備訂單。
資深業界人士透露，除了EUV曝光機，中芯國際幾乎取得可以拿到的所有型號曝光機，包括台積電在生產第一代7奈米製程（N7）使用的DUV曝光機，透過DUV的193nm浸潤式ArF微影生產。不過，業界人士認為，使用DUV曝光機透過液體浸潤多重曝光後雖能縮小線距，但要做到與EUV的13.5奈米波長等效，也就是達到台積電7奈米製程的良率與成本，恐怕還有一大段距離，但這已經是面對美國禁令下可以採取的手段。
據《新浪財經》報導，梁孟松透露，目前中芯國際的28奈米、14奈米、12奈米以及N+1製程都進入規模量產，最新開發的7奈米製程也已經完成，預計2022年就可以投入風險量產。
梁孟松指出，至於5奈米、3奈米製程研發最關鍵的8大技術也已經展開計畫，就等待EUV曝光機到來，實際上7奈米以下製程只落在開發階段，因為缺少EUV曝光機。
（ 中時新聞網 呂承哲 ）

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