【聯合晚報╱記者周宗禎╱即時報導】 2014.07.01 02:15 pm
應用材料公司今天宣布推出Applied Varian VIIStaR 900 3D系統，是業界最先進的中電流離子植入機台，專門開發用於製造次20奈米以下的FinFET及3D快閃記憶體 (NAND)元件設計。
應材表示，這套系統在精密材料工程設計方面，採用多項創新技術，提供最佳控制功能，協助提升元件效能、減少變異性，讓日漸複雜的高效能、高密度3D元件良率大幅增加，降低生產成本。
VIISta 900 3D系統是以強化的離子光束入射角度、精密的離子光束形狀精確度，及植入劑量均勻度控制，協助客戶達到製程再現性及最佳元件效能。
系統採用獨特的加熱植入技術及三個離子束偏轉磁鐵架構，協助減少外來粒子和污染，進一步提升元件良率。結合以上功能，可支援製造複雜3D架構所需的精密植入。
應材瓦里安半導體設備事業處副總裁暨總經理蓋瑞．羅森 (Gary Rosen)表示，消費者需要更優異的行動能力，晶片製造商承受龐大壓力，努力提供效能更高、功率更低的元件裝置。VIISta 900 3D離子植入機台，是專為3D元件設計開發的產品，可協助解決客戶最困難的挑戰，提供最純粹、最精密的離子植入，提升元件效能及良率。
應材是全球五百大公司之一，製造先進半導體、平面顯示、太陽光電各項設備、服務及軟體產品，先進技術可協助智慧型手機、平面電視及太陽能電池更具成本效益，更方便使用。