涂志豪／台北報導
2022年9月7日 週三 上午4:10
晶圓代工龍頭台積電傳出將關閉四台極紫外光（EUV）曝光機，市場擔憂是否為後續需求不振及客戶擴大砍單？然而據設備業者指出，台積電將舊的四台EUV曝光機關機的目的，是為了將設備升級到3600D規格，升級後的單機生產量能（through put）可提升18％左右。
上周已有外電報導指出，傳聞台積電可能從年底開始關閉部份的EUV設備，一方面是因為市場需求可能出現鬆動，另一方面則是EUV設備非常耗電。
設備業者指出，像曝光機這類高精密度的半導體機台，就算市場景氣不好、客戶大幅砍訂單，晶圓廠也很少會做出關機的動作。這是因為關機就跟停電一樣，所有製程參數都要在重開機後重新再作調整，且無法預期可維持最佳良率。以目前台灣電費算相對便宜的狀況下，廠商作出貿然關機的動作，可能性不高。
至於台積電這次將部份EUV曝光機關機，主要是為了進行設備升級，與近期市況無直接關係。
據相關設備業者的說法，台積電3400B及3400C舊機型EUV曝光機，將關機進行升級，調整後將可升級到3600D規格，這樣一來單機生產量能可提升約18％，而且設備升級是依原訂計畫進行，並不是市況不佳而導致關機停產，更不是為了節省電費的目的。