【經濟日報╱記者謝易軒】 2013.04.01 12:18 pm
台積電將啟動20奈米製程的裝機作業，漢微科、中砂、家登、閎康、辛耘、弘塑等本土設備廠供應商也都上緊發條。其中，漢微科是電子束檢測獨家供應商，今年更斥資10億元在南科設置新廠，預期明年可提升產能至目前的三倍。
辛耘在單晶旋轉機台領域的布局，今年也由8吋前段製程跨足12吋後段製程領域，首座機台預計下半年出貨，也是未來台廠中唯一具備將單晶旋轉機台打進12吋前端製程領域條件的供應商。
漢微科總經理招允佳指出，來自客戶端的需求相當強勁，對自家電子束檢測設備導入客戶應用深具信心，所有主流12吋半導體廠都採用漢微科的電子束檢測設備。