漢微科執行長招允佳表示，相較於光學檢測將遭遇的瓶頸，尤其進入1x nm製程時代，電子束在檢測市場重要性逐年加重，看好未來5年逐年高成長，預期2020年電子束檢測設備滲透率將上看50％。
招允佳強調，漢微科的電子束技術技壓群雄，將在競爭對手中突圍，成為年年業績能優於整體半導體設備規模成長的關鍵。
招允佳指出，去年出貨貢獻很多來自1x nm（奈米）研發端，包括16、14直至10nm的發展，1x nm佔比由2013年13％、2014年來到27％，期間需求高度成長1.8倍。眼見1x nm製程世代也由研發端將走入量產，客戶也要求漢微科提供生產線（In-Line）檢測解決方案，將在今年第2季擴大出貨。
招允佳希望電子束不侷限在檢測，要開發出更多應用領域，新品推出藍圖也源源不絕，從去年第4季推出的eP4，將在今年第1季出貨，昨日發表2款Vector Scan系列新機，SkyScan 5000計畫今年第2季出貨，NanoScan 2000 計畫今年第3季出貨，而多槍電子束（Multi-colum）計畫在年底推出，新品動能一波波。
延續去年電子束檢測市場規模約在2.7～3億美元，今年將上升至3.5億美元左右，漢微科有信心可保有85％以上市佔率。