2015-02-22 經濟日報 記者謝佳雯／台北報導
中科打造10奈米基地 信越將來台設光阻液廠 三年要砸50億 帶動上下游一條龍營運動能
中科五期開發案環評過關，不僅台積電10奈米生產基地問題迎刃而解，更可望啟動新一波日商在台投資熱潮，日商信越化學即應台積電之邀，有意來台設立供應給台積電的光阻液廠，三年投資金額至少新台幣50億元。
環保署農曆年前通過中科五期開發案，內含台積電中科擴廠計畫，預計3月底前台積電將進駐建廠，明年第1季裝機，2017年初量產，投產後年產值可達2，000億元，台積電將加碼投資中科最高達7，000億元。
由於台積電計畫在中科新廠布建10奈米生產基地，不但會帶動設備、封測至周邊零組件耗材等半導體一條龍的營運動能，包括日月光、矽品等，更有不少外商看好台積電需求，來台設廠卡位。
據了解，原本就是台積電供應商之一的信越化學，即應台積電之邀評估來台設立新廠，以便就近供應台積電10奈米新廠所需的光阻液。
信越化學成立於1926年，是世界最大的晶圓製造企業和聚氯乙烯製造企業，在台代理商為崇越，崇越代理信越相關半導體、光電、化學等不同部門的產品。
據了解，考量台積電的20奈米、16奈米等先進製程布局均位於台南科學園區的廠區內，信越化學原本看上鄰近的南科工土地，土地面積需求約7公頃，且希望能以買地方式，在台灣生根。
不過，因南科工土地成本較高，加上來台設廠是為了拿到台積電10奈米訂單，在台積電中科新廠擴建案因環評延宕的期間，信越化學也放緩設廠腳步，目前仍在尋找適合的新廠位置。
業界認為，在台積電中科新廠案過關後，信越化學農曆年後可望加速來台新設光阻液廠的計畫；若能順利設廠，將有利於台積電、聯電等半導體大廠就近取得料源，亦能藉此降低採購成本。
據台積電計畫，10奈米製程將於今年底設計定案（tape-out），2017年量產，估計將在2017至2019年間貢獻業績，未來中科新廠甚至將成18吋晶圓廠生產基地。
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磁吸力強 躍投資火車頭
台積電積極搶進先進製程，一路由28奈米要打進10奈米，近三年資本支出可望超過300億美元，更帶動上下游投資熱，無疑已是國內的投資火車頭。
台積電以28奈米製程稱霸晶圓代工市場，緊接著再跨至20和16奈米，2013年至2015年間，每年資本支出規模都是90億美元起跳，今年更上看120億美元。
隨著台積電設廠，更吸引上下游廠商投資熱，僅日月光、矽品、力成等封測大廠去年資本支出即超過600億元，即使今年縮水，至少也有400億元以上的規模。
除了台廠緊跟台積電腳步擴產外，為半導體材料重要供應商的日廠，前兩年也興起一波來台投資熱。日商來台設廠原因，除了因為311大地震後的生產基地移轉外，就近供應台積電也是考量的重點。
像以生產半導體製程用研磨材料聞名的日商福吉米（Fujimi Corporate），以及日立化成生產的CMP STI研磨液（潛溝槽隔離研磨液）等，前兩年均已在台設廠，信越化學更傳出是為了搶接台積電10奈米訂單而來。
業界預期，當台積電中科新廠啟動後，將會扮演未來三年內國內的廠商投資引擎。
閱讀秘書／光阻液
光阻液也就是光阻劑，是一種光敏材料，也是半導體及TFT-LCD微影製程中的關鍵材料。
當半導體製程越先進，採用的晶圓光罩層數越多，以20奈米為例，因為採用雙重曝光微影製程，晶圓光罩層數高達50層，比28奈米多出兩成左右。當光罩層數愈多，對光阻劑的使用量也愈高。