科磊：電子束需求走緩
2014-05-26 08:57 【時報-台北電】
半導體設備大廠美商科磊（KLA Tencor）總裁暨執行長Rick Wallace表示，雖然近幾年電子束缺陷檢測設備需求不錯，但由各半導體大廠的先進製程產能布建情況來看，電子束檢測設備因產出（through put）速度太慢，不僅無法與光學檢測設備相抗衡，隨著光學檢測技術突飛猛進，電子束實際需求也已出現走緩跡象。
為了爭取台積電、聯電等晶圓代工廠訂單，科磊位於台灣新竹的新訓練中心上周五正式開幕，提供與客戶緊密相連的一個訓練場所。此訓練中心將負責科磊的台灣及全球員工在職進修，同時也提供世界各地客戶相關訓練。
國內設備廠漢微科因為推出電子束檢測設備，並獲得全球前3大半導體廠訂單，股價去年以來一飛沖天，如今已經是台股股后。雖然市場法人及分析師認為，電子束將成為半導體缺陷檢測設備主流，但Rick Wallace強調，不論是過去5年、還是未來5年，光學缺陷檢測仍然會是市場主流。(新聞來源：工商時報─記者涂志豪／台北報導)