2026/09/05 11:00

台廠要拚半導體設備國產化，需經過長時間驗證考驗。（路透）
〔記者林菁樺／台北報導〕半導體設備國產替代持續推進，但要真正取代進口設備並不容易。東台集團董事長嚴瑞雄指出，半導體製程對設備精度、穩定度及品質要求非常高，國產設備不是「做得出來」就能取代進口機，還得經過客戶長時間驗證，確定不會影響產線良率，才能真正進入量產。
嚴瑞雄表示，東台近年積極投入國產替代，聚焦碳化矽、陶瓷、石英等硬脆材料加工方案。過去台灣研磨設備市場幾乎由日本大廠掌握，國產設備要切入，「不能只靠價格」，而要在加工精度、品質及客製化能力建立優勢。例如客戶希望修改進口設備的操控介面，外商未必願意配合，東台則可依需求調整，增加國產設備的競爭力。
不具名業者也分析，台灣、中國都在發展半導體設備國產化，但是走的是兩條不同的路。因台灣有高良率的既有產線，設備不能隨便換，任何新設備、新零組件都要先確認「不會出問題」，經過長時間驗證後才能導入。業者指出，過去與神山靶材供應商有推動模組專案，但神山光在認證就超過一年半，對台灣市場對穩定度及良率的要求非常高。
相較之下，中國因受到進口限制，有些設備沒有國外產品可以選，只能自己做、自己用，再邊生產邊改善。業者形容，中國比較像是「先把東西做出來、先讓產線跑，再慢慢把良率拉高」；台灣則是「先把設備驗證到夠穩，才敢放進量產線」。業者認為，台灣國產設備要真正取代進口機，最大的難題不只是技術開發，而是如何跨過客戶驗證與量產這道門檻。
嚴瑞雄則表示，東台不只提供單機設備，也整合集團智慧製造能力，從整線規劃、量產到品質驗證，協助半導體客戶建立完整製程能力，讓國產設備從「做得出來」進一步走向「用得起來、穩定量產」。