LTN經濟通》中國小兵橫空出世 西方半導體封鎖破功？
外媒日前揭露，中國已開始生產自主研發的深紫外光（DUV）微影曝光機，這種關鍵的晶片製造工具，長期以來一直由荷蘭大廠艾司摩爾（ASML）主導。中國國產的DUV預計將在今年交付給中國領先的晶片製造商，消息一出，引發全球關注。

知情人士表示，這家位於上海的國有企業從多家中企調走了DUV研發人才，包括上海微電子裝備集團（SMEE）與上海宇量昇科技公司的團隊。自2025年9月以來，中國晶片大廠中芯就一直在測試宇量昇的浸潤式DUV設備。

新設備大部分零組件都是中國國產，但一些關鍵零件仍需要從日本進口，當地供應商的延宕問題也阻礙了今年的產量。根據知情人士透露，該公司今年的目標產量為5台，2027年約為20台。首批設備將在今年交付給中芯國際、華虹宏力半導體和長鑫存儲。

上海名不見經傳公司生產出DUV

《路透》揭露，目前主導中國國產DUV的是一家叫做上海愛晟納電子科技集團（Aishengna）的公司，紀錄顯示，這家公司成立於2023年8月，註冊資本額70億人民幣（約新台幣），由上海電氣控股以及上海國際信託公司的子公司兩家中國國有股東共同出資。

這家公司的公開資訊非常少，既沒有架設官方網站，在這之前也沒有揭露過任何營運的公開資訊。

這是北京旨在減少對外國技術依賴方面取得的關鍵進展，這家公司整合了上海微電子裝備集團和上海宇量昇科技的團隊，這兩家公司都深度參與北京的半導體自主計畫。其中，宇量昇是華為投資的設備製造商新凱來（SiCarrier）的關係企業。公司招聘的紀錄顯示，愛晟納與宇量昇在上海共用一個地址。

美國禁止中國取得ASML設備

自2019年以來，美國一直禁止艾司摩爾向中國出售極紫外光（EUV）曝光設備，近期更進一步將限制措施擴大到相對沒那麼先進的DUV設備上。

美國會已通過法案，進一步擴大半導體製造設備出口限制，包括中芯國際、華虹、長鑫存儲、華為和長江存儲都是受到限制的實體。這項法案的浸潤式DUV條款涵蓋了服務和技術援助，不僅僅是限制芯產品出口，這將使整個管制擴大到已經在中國晶圓廠運作的設備。

隨著中國國產DUV進入量產，可能為中國晶片製造商提供新的替代方案，這是中國半導體製造商在受到限制後，可以獲得的最先進曝光技術。據傳，中國現在也正自主研發EUV設備，不過，目前仍處於原型階段，距離真正投入使用還需要數年的時間。

LTN經濟通》中國小兵橫空出世 西方半導體封鎖破功？
半導體製造設備市場長期以來由荷蘭大廠艾司摩爾主導。

摩根大通指中國製DUV難量產

中國DUV突破性的進展可能會在未來挑戰艾司摩爾在中國市場的地位，但相關設備的性能和可靠性預計仍有一定的改進空間，因此，短期內艾司摩爾仍保持優勢。

艾司摩爾預計在2026年交付130台浸潤式DUV，與2025年持平。而今年中國市場約佔艾司摩爾淨銷售額的20％，低於2025年的33％，主要受到主流邏輯晶片需求驅動。．

AI Futures Project在6月的一項獨立分析則顯示，中國的浸潤式DUV恐怕要等到2030年代才能實現商業規模，艾司摩爾現在佔了整體的98.7％市佔。新設備的產線認證預估也需要數個月的時間，而且他們在性能和製造品質方面都遜於艾司摩爾的產品。

摩根大通分析師則指出，生產少量的DUV和量產在根本上是「不同的」，僅生產少量浸潤式DUV設備與製造可以用來大量生產晶片的工具是兩回事，對於後者，良率、疊對精度、產出量與數千片晶圓運作的可靠性才是關鍵。