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來源:
財經刊物
發佈於 2026-06-17 02:10
台積電攜手大咖 攻晶圓材料
經濟日報|2026.06.17 01:17
台積電(2330)後市看俏之餘,公司也積極攜手國際重量級夥伴部署更先進的技術,藉此維持領先地位。
全球微電子及相關奈米技術重磅機構比利時微電子研究中心(imec)昨(16)日宣布,攜手半導體微影設備龍頭艾司摩爾(ASML)與台積電,共同發表一套創新、穩健且可擴充的12吋晶圓整合技術路徑,用在基於2D材料的n型與p型場效電晶體(FET),推進12吋晶圓2D材料電晶體開發。
業界看好,相關創新突破,後續可望用於台積電推進埃米世代更先進製程發展,並且對在A10(1奈米)之後的製程材料突破與應用有正面幫助,讓台積電坐穩全球晶圓代工一哥寶座。
台積電副總暨技術長曹敏表示,這為推進半導體創新發展提供重要動力,我們聚焦為從實驗室邁向晶圓廠的技術轉變降低風險和加速進展,確保開創性發現,特別是創新的通道材料,能夠快速有效地整合到先進製造,最終提供頂尖的解決方案。
比利時微電子研究中心說明,相關新平台首次展示搭配50奈米閘極間距(CPP)的微型化nFET(採用二硫化鉬作為通道材料)與pFET(二硫化鎢或二硒化鎢),並且取得良好的電流-電壓特性。
這些成果象徵著2D材料電晶體從實驗室邁向晶圓廠的關鍵進展,預期用於超高度微縮化的邏輯元件,以及後段製程和晶背應用。
2D過渡金屬二硫族化物(即TMD,例如二硫化鉬、二硫化鎢與二硒化鎢)有望延伸並擴展邏輯微縮技術的發展藍圖。當這些材料取代矽材,並作為原子級超薄傳導通道進行元件整合時,能夠製出具備高性能的微縮化電晶體,對高度微縮的邏輯元件、後段製程與晶背應用具備發展潛力。
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