時報資訊
2024年7月3日 週三 上午7:38

【時報-台北電】埃米時代來臨，背面電軌（BSPDN）成為先進製程最佳解決方案，包括台積電、英特爾、imec（比利時微電子研究中心）提出不同解方，鎖定晶圓薄化、原子層沉積檢測（ALD）及再生晶圓三大製程重點，相關供應鏈包括中砂、天虹及昇陽半導體等受惠。
背面電軌（BSPDN）被半導體業者喻為台積電最強黑科技，成為跨入埃米時代最佳解決方案，預估2026年啟用。目前全球有三種解決方案，分別為imec的Buried Power Rail、Intel的PowerVia及台積電的Super Power Rail。代工大廠皆開始透過設計技術協同優化（DTCO）有效地安排互連，有望提早實現系統級晶圓。
業界人士分析，晶背供電有幾個技術突破點，其中，要對晶圓（wafer）背面進行打磨，令其薄到將近可以接觸電晶體，但同時，這樣會使wafer剛性大打折扣，因此在正面打磨完後，必須在wafer正面鍵合一片載體晶圓（carrier wafer），來承載背面製造過程；另像nTSV（奈米矽穿孔），為要確保奈米級孔中銅金屬塗布均勻，也需要更多設備協助檢測。
台積電所採用方式最直接、有效，但代價是生產複雜且昂貴。為反映價值，台積電在價格方面也進行調整，據悉先進製程部分已成功漲價，並在明年元月1日調漲，特別針對3/5奈米AI產品線，調整5％～10％。
業界人士透露，這次台積硬起來，向蘋果等眾多客戶反映價值，主要也是為應對設計難度複雜化。
隨晶圓代工進入埃米時代，架構、電路設計大幅度調整，為了在晶片表面積騰出更多空間，將供電移至背面已為主流共識；目前以英特爾的PowerVia和台積電的Super Power Rail最具量產實力。
供應鏈透露，打入台積電後，等同晉級國際盃機會，因為台積電是業界最高標準，國際大廠也會來尋求合作，相當於台積電帶領眾多供應鏈一同成長；業者指出，先進製程每家作法皆不同，在非規格品加持之下，量、價同步提升；由台積電帶起的矽經濟火車頭持續前進。(新聞來源 : 工商時報一張珈睿／台北報導)