工程師連假日夜搶修，有的還直接睡在廠區，展現台灣半導體業高效率行動。 （資料照， 台積電提供）
黃光製程設備移位最棘手
〔記者洪友芳／新竹報導〕台灣東部強震，半導體產業也受到衝擊，晶圓廠出現最敏感的黃光製程設備移位、石英爐管與運送天車掉落等晶圓震損問題；面對客戶關切，各晶圓廠動員人力物力支援，設備與廠務工程師、供應商二十四小時在清明連假日夜搶修，有的還直接睡在廠區，展現台灣半導體業高效率行動。
台灣東部海域四月三日發生芮氏規模七．二地震，北中南科學園區震度也達四到五級，半導體晶圓廠的機台設備與相關設施受到影響。設備與廠務人員指出，廠房耐震度有別，但這次震度達四、五級，且有餘震，較為複雜，影響最大的是晶圓廠最敏感黃光相關的微影機台設備移位，其次是石英爐、運送天車掉落等震損問題。
面對國內外客戶關切聲聲催，各晶圓廠均動員加班搶修。第一線工程師表示，「昨晚一整晚在廠區沒回家」，有的直接睡廠區輪流搶修；工程師透露，黃光製程的機台設備移位最棘手，因有的分屬不同設備廠，需要緊急協商設備原廠人員協助搶修定位，誰最先有人力支援，就能較快復原。
石英爐管震損 廠商盯存貨
這次地震也影響到石英爐管晶圓報廢等震損。業者坦言「這需要時間清理與換管」，晶圓廠盯緊石英爐管等相關貨源存貨，避免被同業搶走，形同搶料；台灣IC設計客戶表示，詢問過晶圓代工廠投產產品是否受損，晶圓代工廠回應說「這次地震較複雜，還在修復中，要等三、四天後才能回報受損情況」。