台積電昨指出，晶圓廠設備的復原率已超過80％，新建的晶圓廠預計昨晚可完全復原，全台工地確認安全後，昨已恢復施工。（資料照，路透）
全台工地恢復施工 晶圓廠設備復原率逾8成
〔記者洪友芳／新竹報導〕花蓮強震後首日，晶圓代工龍頭廠台積電昨二度更新地震後的晶圓廠復原狀況，指出晶圓廠設備的復原率已超過八十％，新建的晶圓廠（如南科生產三、五奈米的晶圓十八廠）預計昨晚可完全復原，全台工地確認安全後，昨已恢復施工；但也坦承處於震幅較大地區的部分生產線，預計需要較長的時間調整校正，以回復自動化生產。供應鏈估計，一片報廢晶圓重新投片生產，至少需一到兩個月，複雜度高的三、五奈米先進製程更長達三個月。
震幅較大地區部分生產線 需較長時間調整校正
半導體供應鏈指出，這次晶圓廠受地震衝擊幾乎是全面性，其中以竹科較大，「越北部越嚴重」，像台積電龍潭生產搭配AI晶片CoWoS的先進封測廠，該廠是購買高通廠、非台積電自行興建，可能防震度較不足，地震衝擊無塵室空間變形、管路受損，加上機台移位，整體調度修復時間較長。
台積電昨再度聲明表示，地震當天，建廠工地全部停工，經檢查確認安全後，昨日恢復施工；而在全力動員搶修後，晶圓廠設備的復原率提高到八十％，新建的南科晶圓十八廠預計昨晚可完全復原。
台積電坦承，雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產，主要機台包含所有極紫外光（EUV）曝光機皆無受損，但處於震幅較大地區的部分生產線，預計需要較長時間調整校正以回復自動化生產。台積電再次強調，公司已有資源到位以加速達到全面復原，且持續復工中，將繼續密切監控並適時與台積客戶直接溝通相關影響。
台積電體系的八吋晶圓代工廠世界先進昨也說，地震造成部分生產中的晶圓受到影響，到昨日中午為止，約八十％受影響的機台已恢復正常，並將逐步恢復生產作業。聯電、力積電等晶圓廠生產中的部分晶圓也受到影響，近日正努力清除破損晶圓、石英爐管等料件，並使移位的機台設備復位，以早日恢復正常運轉。