台積電危機逼近？外媒驚爆「叛將」用DUV 助中芯攻堅3奈米

• 2023.12.24 
 
• 13:57 
 
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晶片示意圖。圖／本報資料照片
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【中時新聞網 于川】雖然美國發起晶片戰爭，限制半導體先進機具輸入中國大陸。但國外科技網站《tomshardware》報導，陸晶片製造商中芯國際正在攻堅5奈米，甚至到3奈米製程的相關技術，而先後在台積電、三星任職的中芯國際聯合行政總裁梁孟松在其中扮演了重要的角色。
據《tomshardware》22日報導，引述《日經Asia》說法，稱中芯國際當前積極開發7奈米後的製程，如5奈米跟3奈米。且該報導還提到，中芯已經開發出能供智慧型手機處理器使用的第二代7奈米級製程技術，現在正進一步成立研究團隊，專攻5奈米跟3奈米製程技術的研究。
此文章中亦提到，據2位知情人士透露，目前研究5奈米跟3奈米製程技術的團隊，領導人正是梁孟松。該報導也以台積電前首席法律顧問迪克瑟斯頓（Dick Thurston）今年稍早受訪的說法來形容梁孟松，「沒有比他更聰明的科學家或工程師，梁孟松確實是我在半導體領域見過的最聰明的人之一。 」
除此之外，報導中還提到，受限於美國晶片法規，中芯無法從荷蘭廠商ASML手上獲得EUV（極紫外光微影設備），因此該企業先前生產的第二代７奈米晶片主要是依賴DUV（深紫外光微影設備）生產。
該報導聲稱，在梁孟松的領導下，中芯或可在不使用EUV的情況下，量產5奈米晶片，另過去多次聽到有關中芯國際5奈米製程技術的消息，只能說是「無風不起浪」，但有消息指稱中芯有能力以DUV開出3奈米製程，可以說是首次聽聞。
文章來源：原文：Blacklisted Chinese chipmaker SMIC is working on 3nm process technology despite US sanctions that limit access to advanced tools: Report