鈞鈞 發達集團副董事長
來源:財經刊物   發佈於 2023-09-06 12:35

ASML:High NA EUV測試設備 今年如期出貨

國際產業》【時報編譯張朝欽綜合外電報導】荷蘭艾司摩爾(ASML)執行長Peter Wennink說,儘管供應商的一些延誤,公司仍將在今年如期出貨次世代產品的首批先導設備。 執行長說:「一些供應商在提高效率、提供合適的技術品質方面存在一些困難,因此導致了一些延遲」,「但是實際上,仍將在今年首次出貨」。 艾司摩爾的次世代微影機High NA EUV的大小如同一輛卡車,每台成本高達3億美元,為最頂尖的晶圓製造商所需,以製造更小和更好的下世代晶片。 目前僅有台積電(2330)、英特爾、三星、SK海力士、美光有使用艾司摩爾最先進的設備,極紫外光微影機(EUV),一台如同巴士大小,每台造價破2億美元。 High NA、或稱高數值孔徑(high numerical aperture)的設備將從更寬的角度收集光線,解析度最高可提高70%。 客戶將先測試High NA EUV,然後在投入商業量產,因為邏輯晶片的製造商需要比記憶體製造商更早取得設備。 此外執行長也證實了,公司在今年在DUV的銷售金額,將高於EUV。艾司摩爾預計,今年DUV銷售將成長30%,主要是中國對該款微影機的需求強勁。 Wennink說,隨著在亞利桑那州和台灣的新晶片工廠準備迎接EUV設備,這種情形將在2024年翻轉;目前市場對高階AI晶片的需求正日益增加。

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