00:00 開場大綱 | Intro Summary
01:42 什麼是黃光微影技術(Photolithography)？
03:50 如何利用光阻劑(光刻膠)來進行圖形轉移？
05:30 電子束(Electron beam)與電子槍(Electron beam gun)
06:29 電子束冰刻機(iEBL)的原理
07:24 電子束冰刻機(iEBL)微影技術的製作流程
11:28 電子束冰刻機(iEBL)的技術限制
13:25 結論 | Conclusion