愛地球做起來 聯電創建綠色製程
經濟日報2023/04/14 18:41
經濟日報 記者林思宇／台北即時報導 環保愛地球，聯電動起來。聯電（2303）表示，因應各項有害物質替代計畫的執行，致力於開發與推展環保再利用化學品於各項半導體製程，已獲得多項成果。針對半導體業對環境可能造成的衝擊，聯電的策略就是以「源頭減量」取代「管末處理」。 聯電表示，不僅是全球第一家全公司所有廠區同時通過 QC 080000 HSPM 標準驗證的半導體製造商，也是國內第一家達成全氟碳化合物(PFOA-related)製程有害物質替代的半導體業者，而台灣所有廠區也都通過工業局清潔生產評估系統認證。 聯電表示，早期半導體界為了追求較高的清洗效率，清洗溶劑會添加一些含氟化合物。然而，這不僅對人體有害也會破壞生態環境，尤其這些溶劑成分配方皆來自國外大廠，要減量、回收，甚至取代都更加複雜。與其事後彌補，聯電斧底抽薪，從源頭開始減量。 方法之一是提升清洗效能的最適化。聯電表示，利用奈米表面成分技術（SEM/TEM/EDX），分析製程上前一個步驟「蝕刻產生的殘餘物」，來調整蝕刻機台參數設定，讓殘餘物減量或使其結構更鬆散更易被清洗。下一步驟「清洗」，針對清洗溶劑的成分特性、濃度配比，溫度設定最適化，增強去除殘餘物的能力。例如，半導體後段銅導線製程中的化學清洗步驟，過程是要浸泡在一種溶劑中，透過這樣的做法來提升清洗效能，就成功拉長其更換週期，順利達到70%以上的化學溶劑減量。 另一種方法是「清洗溶劑客製化」。聯電表示，為了減少對國外廠商的依賴度，聯電跟國內化學大廠合作研發，針對蝕刻殘餘物的特性，共同開發出聯電專屬的綠色溶劑化學品。2015年聯電完成PFOS(全氟辛烷磺酸)的取代，2017年再領先業界完成PFOA (全氟辛酸)的更換。 聯電表示，自2018起，每年皆完成一項綠色化學品開發。2018年採用具生物分解性的友善化學物質，自主研發出一種全新的綠色化學品，已在聯電新加坡廠Fab12i正式上線，應用在40奈米的製程上，節省成本達4000萬元。2022年完成開發一項符合歐盟綠色環保規範的後段關鍵金屬的清洗製程開發，將傳統的清洗溶劑改成無NMP (N-甲基□咯烷酮)的親水性溶劑，已應用於南科廠Fab12A。在與前一年度產能相當的情況下，2022年有效減少約13噸的使用。 聯電強調，推動溫室氣體替代革命的努力並不止歇，預計在2023年持續領先業界，開發一項取消溫室氣體－一氧化二氮（N2O）投入的前段製程，未來可望每年減少9.63公噸N2O使用量，相當於降低2551噸CO2e。研發成功後預計應用於各項22奈米製程及拓展至成熟製程，不僅提升公司競爭力，也對環境更友善，降低半導體生產製造對環境的危害，落實聯電永續發展藍圖中「最小化環境足跡」的目標。