【經濟日報╱記者陳碧珠／即時報導】 2010.02.20 11:35 pm
台積電（2330）與荷蘭商MAPPER日共同宣佈，MAPPER安裝在台積公司晶圓十二廠超大晶圓廠的原型機台正不斷地重覆寫出超微小電路元件，係先前使用浸潤式微影技術所無法達到的成果。 台積電表示，過去幾個月來，台積擴充了無光罩微影技術的研究團隊，並與MAPPER公司的工程師們一同在晶圓十二廠裡合力將電子束直寫能力整合至製程中，以供未來更先進的技術世代使用。
【2010/02/20 經濟日報】@ http://udn.com/