東佑達奈米系統空氣軸承定位平台 省時精度高
經濟日報2021/12/19 22:15
經濟日報 張傑 隨著物聯網、AI智能，半導體應用在未來生活及產業上，扮演著越來越重要角色，國內最大鋁擠型滑台製造商東佑達自動化科技，看準未來發展，成立「東佑達奈米系統股份有限公司」切入物聯網、車用電子、高速運算等新興科技及先進半導體製程應用，搭配母公司技術量能，期協助產業達到「全方位智能製造」目標。 東佑達奈米系統副總鄧貴敦表示，東佑達奈米系統在既有自動化整合技術支援下，所開發出的奈米級空氣軸承XY定位平台，有別於業界氣浮墊式空氣軸承設計，所採的節流元件直接嵌入花崗岩機構式內部，結構上不僅更簡單、組裝容易，剛性更高，載重能力更好。 且在運動直線度、平面精度、Yaw、Pitch、正交度可小於1微米（μm）、重複精度上更小於0.3微米（μm），締造出六個超高自由度精度表現，再再展現東佑達客製化奈米級定位精度實力。 副總鄧貴敦指出，在晶圓先進製程需求越趨高精度、高產能、薄型化等要求下，東佑達所開發的奈米級空氣軸承平台，不僅軸承面無接觸、零磨耗，作動時，安靜平滑、不會產生噪音與振動，且空氣軸承不需油潤、可避免油潤所產生的相關問題，且空氣軸承處於正壓，可將微粒子吹離，具有自我潔淨的效果。 奈米級空氣軸承XY定位平台，所搭載專利設計節流元件直接嵌入機構式內部，對於平台在高速與高加速等作動下，重複精度表現可小於0.3微米（μm），可應對先端半導體與面板製程工件高速移載等超高精度需求。 此外，對於AOI、PCB製程曝光機、光電業的噴印或雷射加工、3C電子業的貼合等製程設備，東佑達均有對應的新世代奈米空氣軸承定位平台設備，可大幅減少運動整定時間與元件磨耗率，提升設備生產力與可靠性。