真空泵浦台廠鋒魁訂單滿手
涂志豪／台北報導
2021.11.23

鋒魁董事長張錦發（圖右）及總經理林千惠（圖左）。

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半導體及光電產業真空泵浦維修技術服務、新機生產銷售及工廠智慧自動化系統建置業務廠商鋒魁科技（7530），為台積電供應鏈成員之一，預計11月24日登錄興櫃。鋒魁生產線現今供不應求，第四季可望賺贏前三季，法人預估鋒魁今年全年每股淨利可達1元，並積極投入擴產，目標增加二倍半產能，新產能將自明年第四季起逐步開出。
鋒魁董事長張錦發表示，以半導體業為例，因製程要求環境潔淨度嚴苛，須利用高速率真空泵浦抽氣產生負壓的潔淨環境，才可完成化學氣相沉積製程。真空泵浦設備有效的抽氣對需要真空、負壓環境的半導體製程，產品良率有著巨大的影響，因此扮演極為重要角色。
真空泵浦原為日本及英國廠商專有市場，一台約2萬到3萬美元，過去鋒魁以維修與耗材為主，而這幾年投入自行研發後，已能供應真空泵浦的新機。隨著全球晶圓廠積極投入擴產，對真空泵浦需求強勁，如28奈米月產3萬片的廠區需要2000台到2500台，至於台積電3奈米需求至少超過5000台，鋒魁滿手訂單，且包括維修、零件與新機等接單暢旺、產能供不應求。
鋒魁設立於2007年8月，台積電為其最大客戶，目前以維修與供應為主，後續新機可望打入供應鏈。另外，包括聯電、力積電的新機採購訂單到位，世界先進已經小量出貨，同時三星及華虹也認證通過展開供貨。
鋒魁目前新機產線中，真空泵浦年產能可達400台，因應客戶需求強勁決定投入擴產，希望增加1000台的年產能，新產能預計明年第四季起開始逐步開出。另外，廠務工程大廠帆宣及半導體設備廠辛耘是鋒魁前二大法人股東。